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据供应链透露,由于氧气供应受到污染,台积电南科晶圆18厂5nm厂昨日晚间部分产线停产。台积电今日回应表示绝无此事,但也证实有部分来自厂商供应的气体疑似受到污染。http://t.cn/A6fFyUeG

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